避免二氧化硅层表面的缺陷的方法

       氧化层表面造成各种各样黑斑的关键缘故有下列几类，一种是硅片表面解决不干净，残余着一些拈污的残渣粒子，高溫下沾附在二氧化硅层的表面，产生部分小黑点，那么避免二氧化硅层表面的缺陷有哪些方法？
　　石英管长期性应用，处于高溫地区的石英管造成乳白色塑料薄膜，这类乳白色塑料薄膜的构造较为疏松，大气旋吹开或实际操作时振动就会导致粒子掉下去.落入硅片表面就会产生氧化层表面部分凸起。因此应提升对石英管的清理解决及适度拆换脆化的石英管是很须的。
　　实际操作时一定坚决杜绝水珠喷到石英管中，特别是在在湿氧或水蒸气氧化时，当温度过高，发生爆发式烧开时，通常会将水滴立即喷到石英管中，如落入硅片上，就会发生五颜六色斑点。此外清理过的硅片上如残余水渍，也会在氧化影片上发生斑点。
　　如在二氧化硅表面存有黑斑时，黑斑处的氧化层对残渣的掩蔽功效很有可能无效，因而导致元器件特性下降，若有很大的突起黑斑时，还会继续导致光刻技术实际操作品质降低，危害全部芯管生产制造的良品率，因此在生产制造中应尽量减少发生黑斑。

　　氧化层针孔的造成与氧化的方式相关，一般热氧化几乎不造成针孔。可是假如硅片的品质不太好，有比较严重的织构，而织构的地区又聚集较多的热扩散系数大的残渣，比如，铜、铁等，在这种地区就不可以非常好地生长发育出二氧化硅层，因此产生氧化层针孔，这种针孔一般人眼不容易发觉，有时候也称埋孔，蔓延时它能使残渣部分透过，掩蔽无效，进而导致元器件走电扩大，抗压减少，乃至离断，或是导致铝电级与二氧化硅层下的地区短路故障。为了更好地清除针孔，应挑选缺点少的光伏材料，而且表面光滑、整平。清理时要严苛实际操作，避免重金属超标残渣脏污硅片表面。